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为了认识磷酸液－液界面的传质过程，提高传质速率，基于投影栅线法测量物体三维物体形貌的思想，建立起用于液－液界面传质的实验系统。在该......
分析了两个矩形光栅迭合产生的莫尔条纹的光强分布特性,通过选择适当的光栅参数,可得到一个近似的正弦分划板,并把它用于三维面形......
针对投影光刻机短波长、大数值孔径、短焦深的特点，讨论了一种基于光闸叠栅条纹的纳米检焦方法。该方法采用三角测量的基本原理，利用......
分析了光栅的泰伯(Talbot)像和透镜焦面的关系,提出了Talbot像对谱面的对称性原理.并将其用于透镜焦距的测量,方法简单,精度高.......
为了寻求对物体面形的有效测量方法，满足动态实时测量的要求，提出了一种基于参考条纹相移法测量物体三维面形的光纤传感理论模型并进......
目前二维干涉图所采用的相位提取算法大多以傅里叶变换法为主，而傅里叶变换法对噪声比较敏感。虚光栅移相莫尔条纹法具有较高的提取......
在全息光栅曝光光路中，基底的定位误差会直接影响光栅的技术指标。对平面全息光栅会造成光栅周期误差，对凹面全息光栅则会增大其像差......
提出一种基于复合光栅的对准方法，满足接近式光刻高精度、大范围对准需要。该复合光栅由周期具有微小差异的小周期光栅以及与之相正......
在线光栅用于纳米光刻对准理论的基础上，为实现光栅方向的标定和掩模硅片对准，提出一种利用相位斜率消除角位移的新方法，并给出线光栅......
提出了一种利用方形孔径微透镜阵列和微图形阵列产生的二维叠栅条纹测量微小角度的方法。分析了不同尺寸阵列产生的二维叠栅条纹的......
研究了方形孔径平面微透镜阵列和微图形阵列的叠栅条纹的傅里叶原理。方形孔径平面微透镜阵列可视为正交的二维栅格线簇, 以一维光......
为了提高全息光栅曝光系统的曝光对比度，抑制外部环境变化引起的曝光干涉条纹漂移，提出了一种移栅型干涉条纹锁定方法。采用分束光栅......
用频谱分析的观点对相移扫描莫尔的进行了分析，提出了该方法的付里叶描述。对变形条纹的间隔抽样能分离出莫尔条纹，但这样所得的莫尔......
光电信号的波形质量,将直接影响测量仪器的精度和性能。为此,许多从事设计工作的技术人员,都千方百计地采取各种方法和技术措施,提......
